Bij ionenplating wordt gebruik gemaakt van gasontlading onder vacuümomstandigheden om het gas of het verdampte materiaal te ioniseren. Onder het bombardement van gasionen of verdampende materiaalionen worden het verdampte materiaal of de reactanten ervan op het werkstuk afgezet. Dit omvat ionenplating door magnetronsputteren, reactief ionenplating, ionenplating met holle kathode-ontlading (verdamping met holle kathode) en multi-boogionenplating (kathodeboogionenplating). Ionenplating combineert glimontlading en plasmatechnologie met vacuümverdamping, waardoor de prestaties van de coating aanzienlijk worden verbeterd en de toepassing ervan wordt uitgebreid. Naast het delen van de voordelen van vacuümsputteren, biedt ionenplating een sterke filmhechting, uitstekende diffractie-eigenschappen en een breed scala aan plateermaterialen.
Als gevolg hiervan heeft het de afgelopen jaren zowel nationaal als internationaal een snelle ontwikkeling doorgemaakt. Het basisprincipe van ionenplating is het ioniseren van metaal- of legeringsdampen met behulp van gloei- of boogontlading van een inert gas. Ionenplateren omvat het verwarmen, verdampen en afzetten van het coatingmateriaal (zoals TiN en TiC).
Terwijl de verdampte atomen van het coatingmateriaal door de gloeizone gaan, wordt een klein deel geïoniseerd en vliegt onder invloed van het elektrische veld naar het werkstuk en raakt het oppervlak met energieën van enkele duizenden elektronvolts. Ze kunnen tot een diepte van enkele nanometers in de ondergrond doordringen, waardoor de hechting van de coating aanzienlijk wordt verbeterd. Geünificeerde verdampte materiaalatomen worden direct op het werkstuk afgezet om een film te vormen. Door het sputteren van inerte gasionen en coatingmateriaalionen op het werkstukoppervlak worden ook verontreinigingen verwijderd, waardoor de hechting wordt verbeterd.
De technologieën die worden gebruikt door ionenvacuümcoatingmachines, verdampingscoatingmachines en magnetronsputtercoatingmachines zijn verschillend. Deze coatingtechnologieprincipes hebben ook hun eigen voordelen. Afhankelijk van het coatingwerkstuk en de filmlaag kunnen verschillende coatingmethoden worden geselecteerd om aan de marktvraag te voldoen.
