Magnetronsputtercoating Vacuümafzettingsapparatuur

Het kernprincipe van vacuümdepositieapparatuur is het verdampen of ioniseren van de materiaalbron in een vacuümomgeving, en vervolgens de gegenereerde atomen, moleculen of ionen laten afzetten op het oppervlak van het doelsubstraat om een ​​of meer dunne films te vormen.

In een hoog{0}}vacuüm afgesloten kamer sluit een magnetisch veld elektronen op om argongas te ioniseren. De resulterende argonionen bombarderen een metaal- of oxidedoel, waardoor doelatomen worden weggespat en afgezet op het oppervlak van een werkstuk dat op het roterende rek van de kamer is gemonteerd, waardoor een dichte dunne film op nanoschaal wordt gevormd. Het systeem ondersteunt DC-, MF- en RF-sputtervoedingen en is geschikt voor zowel geleidende als isolerende doelen, een multi-target-configuratie maakt co-sputteren mogelijk voor de vervaardiging van enkel-- en meerlaagse composietfilms.

Uitrustingskenmerken

De coatingkwaliteit is stabiel en uniform, met sterke hechting
Een planetaire draaitafel drijft de werkstukken aan om door de kamer te roteren, waardoor een consistente filmdikte over de hele batch wordt gegarandeerd en afbladderen of schilferen wordt voorkomen. De coatings zijn van hoge zuiverheid en het systeem kan metaal-, legerings- en diëlektrische oxidefilms produceren.

Ondersteunt coating bij lage- temperaturen en biedt brede substraatcompatibiliteit
Standaard uitgerust met een ionenhulpbron bij lage-temperatuur-, waardoor coating op kamertemperatuur- mogelijk is met een minimale temperatuurstijging van het werkstuk, waardoor vervorming als gevolg van hoge temperaturen wordt voorkomen.

Flexibele procesmogelijkheden, multi-target co-sputteren
De kamer kan worden geconfigureerd met meerdere magnetrondoelen, waardoor het gelijktijdig laden van verschillende doelmaterialen mogelijk is.

Volledig automatische gesloten-lusregeling via PLC zorgt voor bedieningsgemak

Vacuümevacuatie, argongasstroom, sputtervermogen, draaitafelrotatiesnelheid en ionenbronparameters worden allemaal automatisch geregeld. Het systeem is voorzien van een touchscreen-HMI en maakt het vooraf instellen van meerdere coatingrecepten mogelijk.

Vacuümkamers, ondersteunt niet-standaardaanpassingen

Eenvoudig onderhoud, stabiel vacuümsysteem

Badkamerkranen, douches, horlogekasten/riemen, brilmonturen, serviesgoed, hoesjes voor mobiele telefoons, notebookhoezen, verschillende gekleurde decoratieve films, anti-vingerafdrukfilms en corrosie-bestendige beschermfilms.

Hoge coatingdichtheid en extreem lage porositeit

Atomen die via magnetronsputteren worden afgezet, bezitten een hoge energie, waardoor een sterke oppervlaktemobiliteit en een strakke pakking mogelijk zijn

Vrijwel gaatjes-vrij met minimale porositeit

Corrosie- en oxidatieweerstand is aanzienlijk beter dan vacuüm-verdampte coatings

Uitstekende zoutsproeitestprestaties; geschikt voor anti-corrosie- en decoratieve toepassingen op badkamerarmaturen, hardware en buitencomponenten