Magnetron sputteringsapparatuur speelt een sleutelrol op veel gebieden, zoals materiaaloppervlakbehandeling en filmbereiding. Dagelijks onderhoud is essentieel om de stabiele werking van de apparatuur te waarborgen, de levensduur van de service te verlengen en de kwaliteit van de gesputterde film te waarborgen. Het volgende zal de belangrijkste punten van dagelijks onderhoud van magnetron sputteringsapparatuur ingaan.
Onderhoud van het vacuümsysteem
1. Onderhoud van vacuümpomp: de vacuümpomp is de kerncomponent van het vacuümsysteem van de magnetron sputterapparatuur. Controleer regelmatig het olieniveau van de vacuümpomp om ervoor te zorgen dat het olieniveau zich binnen het normale bereik bevindt. Na langdurig gebruik zullen de prestaties van de vacuümpompolie verslechteren vanwege de adsorptie van onzuiverheden en vocht. Over het algemeen moet de vacuümpompolie elke bepaalde werkingsperiode worden vervangen (bijvoorbeeld 2000 uur). Let tegelijkertijd op om de beklemming van de vacuümpompgordel te controleren. Een te losse riem zorgt ervoor dat de vacuümpompsnelheid onstabiel is en de uitlaatefficiëntie beïnvloedt; Te strak kan de slijtage van de riem versnellen. Als de riem tekenen van slijtage of veroudering vertoont, moet deze op tijd worden vervangen.
2. Vacuümpijpreiniging: de vacuümpijp is het kanaal dat de vacuümpomp verbindt en de sputterkamer, die gemakkelijk is om stof, onzuiverheden en deeltjes te absorberen die zijn gegenereerd tijdens het sputterproces. Gebruik regelmatig een speciaal vacuümpijpreinigingsgereedschap om de binnenkant van de pijp te reinigen om bevestigde onzuiverheden te verwijderen. Voor onderdelen die moeilijk te reinigen zijn, kan het zuivering van gas worden gebruikt, maar de netheid van het zuiveringsgas moet worden gewaarborgd. Controleer bovendien de strakheid van de pijp om te zien of er lekkage is. Een klein lek kan ervoor zorgen dat de vacuümgraad de ideale toestand niet bereikt, wat het sputterende effect beïnvloedt. Een lekdetector van heliummassaspectrometer kan worden gebruikt om lekken in de pijp te detecteren en lekken kunnen in de tijd worden gerepareerd.
3. Kalibratie van vacuümmeter: de vacuümmeter wordt gebruikt om de vacuümgraad van het vacuümsysteem te meten, en de meetnauwkeurigheid is direct gerelateerd aan het oordeel van de operator over de bedrijfsstatus van de apparatuur. Kalibreer de vacuümmeter regelmatig en het wordt over het algemeen aanbevolen om deze om de zes maanden of een jaar te kalibreren. Het kalibratieproces moet worden uitgevoerd in overeenstemming met de bedrijfshandleiding die door de fabrikant van de apparatuur wordt verstrekt en standaard kalibratieapparatuur moet worden gebruikt om ervoor te zorgen dat de door de vacuümmeter gemeten vacuümgegevens nauwkeurig en betrouwbaar zijn.
Sputterdoelonderhoud
1. Doeloppervlakreiniging: tijdens het sputterproces zullen sputterproducten en onzuiverheden geleidelijk op het doeloppervlak afzetten, wat de sputtersnelheid en de filmkwaliteit beïnvloedt. Na elk gebruik van de apparatuur moet het doeloppervlak op tijd worden gereinigd. Voor metalen doelen kan een speciale doelreinigingsborstel worden gebruikt om de oppervlakteafzettingen voorzichtig weg te borstelen; Voor enkele meer gevoelige doelen, zoals keramische doelen, is een zachtere reinigingsmethode vereist, zoals zachtjes veegt met een schone zachte doek gedompeld in een geschikte hoeveelheid speciale reinigingsmiddel. Gebruik geen scherpe gereedschappen om het oppervlak van het doelwit te krabben om het doel te voorkomen.
2. Doelinstallatie -inspectie: controleer regelmatig de installatie van het doel om ervoor te zorgen dat het doel stevig is geïnstalleerd. Het doelwit zal worden gebombardeerd door hogesnelheidsionen tijdens het sputterproces. Als het niet stevig wordt geïnstalleerd, kan het ertoe leiden dat het doelwit schudt of zelfs eraf valt, wat niet alleen het sputteringseffect zal beïnvloeden, maar ook de apparatuur beschadigt. Controleer of het verband tussen het doelwit en de sputterende voeding goed is. Losheid van de verbinding kan ertoe leiden dat het sputterproces onstabiel is en abnormale fenomenen zoals vonken veroorzaken. Als de verbinding los is gebleken, moeten de verbindingsbouten in de tijd worden vastgedraaid.
3. Monitoring van het doel van de service: verschillende soorten doelmaterialen hebben hun specifieke levensduur. Let goed op de sputtertijd en het sputterend effect van het doelwit. Wanneer de sputtersnelheid van het doel aanzienlijk daalt en de filmkwaliteit fluctueert, kan dit betekenen dat het doelwit dicht bij zijn levensduur ligt. Vervang het doelmateriaal op tijd om de stabiliteit van het sputterproces en de consistentie van de filmkwaliteit te waarborgen. Noteer tegelijkertijd de gebruikstijd en gerelateerde parameters van het doelmateriaal om een basis te bieden voor daaropvolgende vervanging van het doelmateriaal en prestatie -evaluatie.
Onderhoud van het elektrische systeem
1. Voedingsvoorziening: de voeding van de magnetronsputteringsapparatuur biedt energie voor het sputterproces en de stabiliteit ervan is cruciaal. Controleer regelmatig of de uitgangsspanning en de stroom van de voeding binnen het normale bereik liggen. U kunt professionele elektrische meetinstrumenten gebruiken om de voeding te detecteren om te controleren of de uitvoerparameters consistent zijn met de instellingswaarden van de apparatuur. Als de uitgangsspanning of stroom is gebleken om abnormaal te fluctueren, moet de oorzaak onmiddellijk worden onderzocht. Het kan een fout zijn in de interne componenten van de voeding of een probleem met de lijnverbinding. Controleer bovendien de warmtedissipatie van de voeding om ervoor te zorgen dat de voeding tijdens de werking normaal warmte kan wegnemen. De voeding zal veel warmte genereren wanneer ze lang werken. Als de warmtedissipatie slecht is, kan dit schade aan de componenten veroorzaken. Reinig het stof op de voedingstralen om ervoor te zorgen dat de koelventilator normaal wordt uitgevoerd.
2. Onderhoud van het elektrische circuit: controleer of het elektrische circuit in de apparatuur veroudert of beschadigd is. Na langdurig gebruik kan het elektrische circuit problemen hebben, zoals veroudering van de isolatielaag en schade van de draad, die veiligheidsrisico's zal opleveren en de normale werking van de apparatuur zal beïnvloeden. Voor verouderende of beschadigde circuits moeten ze op tijd worden vervangen. Zorg er tegelijkertijd voor dat de lijnverbinding stevig is om een losheid te voorkomen dat slecht contact veroorzaakt. Losse verbindingspunten kunnen vonken genereren tijdens de werking van de apparatuur, componenten van de apparatuur of zelfs brandschade veroorzaken. Draai de schroeven van de lijnverbindingspunten regelmatig vast en controleer het contact tussen de plug en de aansluiting.
3. Onderhoud van het besturingssysteem: het besturingssysteem van de apparatuur is verantwoordelijk voor het bewaken en aanpassen van verschillende parameters van het sputterproces. Maak een back -up van de gegevens in het besturingssysteem regelmatig om gegevensverlies te voorkomen. Controleer tegelijkertijd of er update -aanwijzingen zijn voor de software voor het besturingssysteem. Tijdige software -updates kunnen bekende kwetsbaarheden oplossen en de stabiliteit en functie van het systeem verbeteren. Reinig bovendien de bedieningsinterface van het besturingssysteem om ervoor te zorgen dat de knoppen en het scherm het scherm correct werken, en de operator kan parameters nauwkeurig invoeren en informatie over apparatuur verkrijgen.
Onderhoud van het koelsysteem
1. Koelvloeistofinspectie: het koelsysteem wordt gebruikt om de warmte te verminderen die door de apparatuur wordt gegenereerd tijdens de werking. De koelvloeistof is het belangrijkste medium van het koelsysteem. Controleer het koelvloeistofniveau regelmatig om ervoor te zorgen dat het niveau binnen het normale bereik ligt. Het koelvloeistofniveau daalt als gevolg van verdamping, lekkage, enz. Tijdens langdurig gebruik. Een te laag niveau heeft invloed op het koeleffect. Controleer tegelijkertijd de kwaliteit van de koelvloeistof en observeer of de koelvloeistof wordt verkleurd, troebel of een geur heeft. Als het koelmiddel verslechtert, moet het op tijd worden vervangen. Het wordt over het algemeen aanbevolen om de koelvloeistof elke 1-2 jaar te vervangen. De specifieke vervangingscyclus kan worden bepaald op basis van het gebruik van de apparatuur en de aanbevelingen van de fabrikant.
2. Koelpijponderhoud: controleer of de koelpijp is geblokkeerd. De binnenkant van de koelpijp kan worden geblokkeerd vanwege de accumulatie van schaal, onzuiverheden, enz., Het beïnvloeden van de normale stroom van de koelvloeistof. De pijp kan worden gereinigd door chemische reiniging of fysieke reiniging. Chemische reiniging kan een speciaal pijpreinigingsmiddel gebruiken, maar let op de concentratie van het reinigingsmiddel en de reinigingstijd om corrosie met de pijp te voorkomen. Fysieke reiniging kan worden uitgevoerd door spoeling van het waterpistool en andere methoden. Controleer bovendien de afdichting van de koelpijp om lekkage van koelvloeistoffen te voorkomen. Als een lek in de pijp wordt gevonden, moeten de beschadigde buisonderdelen op tijd worden gerepareerd of vervangen.
3. Inspectie van koelapparatuur: controleer de waterpomp, radiator en andere apparatuur in het koelsysteem. Zorg ervoor dat de waterpomp normaal werkt. De waaier van de waterpomp kan het pompcapaciteit beïnvloeden als gevolg van slijtage. Als de waterpomp abnormaal pompt, moet de waterpomp in de tijd worden gerepareerd of vervangen. Controleer of de koellichaamvinnen van de radiator worden geblokkeerd, reinig het stof en het puin op de koellichaamvinnen en zorg ervoor dat de radiator warmte effectief kan afwegen. Controleer tegelijkertijd de werking van de koelventilator om ervoor te zorgen dat de ventilator normaal koellucht voor de radiator kan bieden.
Apparatuurreiniging en milieuonderhoud
1. Oppervlaktereiniging van de apparatuur: reinig regelmatig het oppervlak van de magnetron sputterapparatuur om stof, olie en andere verontreinigende stoffen te verwijderen. U kunt een schone zachte doek gebruiken om in een geschikte hoeveelheid wasmiddel te dopen en het oppervlak van de apparatuur voorzichtig af te vegen. Voor sommige koppige vlekken kunt u een speciale apparatuurreiniger gebruiken, maar wees voorzichtig om te voorkomen dat het wasmiddel de binnenkant van de apparatuur binnenkomt. Veeg na het reinigen het oppervlak van de apparatuur af met een schone doek om het uiterlijk van de apparatuur schoon te houden.
2. Schone werkomgeving: de werkomgeving van de apparatuur heeft ook een belangrijke impact op de prestaties en het leven. Houd de werkomgeving schoon, reinig het stof regelmatig op de grond en voorkom dat te veel stof de apparatuur binnengaat. Controleer de temperatuur en vochtigheid van de werkomgeving. Over het algemeen is magnetron sputterapparatuur geschikt voor het werken in een omgeving met een temperatuur van 20-25 en een relatieve vochtigheid van 40%-60%. Airconditioning- en ontvochtigingsapparatuur kan worden geïnstalleerd om de omgevingstemperatuur en vochtigheid aan te passen. Zorg er bovendien voor dat de werkomgeving goed wordt geventileerd om de accumulatie van warmte en uitlaatgas te voorkomen die tijdens de werking van de apparatuur wordt gegenereerd.
Kortom, het dagelijkse onderhoud van magnetron sputterapparatuur bestrijkt meerdere aspecten zoals vacuümsysteem, sputterdoelstelling, elektrisch systeem, koelsysteem, apparatuurreiniging en milieuonderhoud. Operators moeten de onderhoudshandleiding van de apparatuurfabrikant strikt volgen voor regelmatig onderhoud, mogelijke problemen onmiddellijk ontdekken en oplossen, om de stabiele werking van de apparatuur te waarborgen, de levensduur van de apparatuur te verbeteren en zo de kwaliteit en productie -efficiëntie van de gesputterde film te verbeteren.
