Magnetron sputtercoatingmachine

In een vacuümkamer wordt een magnetisch veld gebruikt om een ​​glimontlading op te sluiten, waardoor argonionen het doelmateriaal met hoge snelheden bombarderen. Doelatomen worden weggesputterd en op het werkstukoppervlak afgezet om een ​​dichte dunne film te vormen-een proces dat is geclassificeerd als Physical Vapour Deposition (PVD).

Uitrustingseigenschappen

Compatibel met verschillende soorten sputterdoelen
Ondersteunt DC-, MF- en RF-magnetronsputterdoelen, biedt plaats aan zowel metalen als oxide-keramische doelen, waardoor de afzetting van zowel metalen als isolerende diëlektrische films mogelijk is.

Substraatrevolutie en rotatiemechanisme
Het werkstukrek maakt gebruik van een planetair rotatiesysteem, waardoor de werkstukken in de oven tegelijkertijd kunnen draaien en roteren. Dit zorgt voor een uitstekende uniformiteit van de filmdikte over de gehele ovenbelasting en minimaliseert kleurvariatie.

Ionenvoorbehandelingssysteem met lage-temperatuur-
Het systeem is uitgerust met een ingebouwde-ingebouwde ionenreinigingsbron en bombardeert het werkstukoppervlak vóór het coaten met plasma om olieverontreinigingen en oxidelagen te verwijderen. Het maakt filmafzetting bij lage- temperatuur mogelijk met minimale substraatverwarming, waardoor het geschikt is voor het verwerken van warmte-gevoelige kunststoffen zoals ABS en PC zonder verbranding of vervorming te veroorzaken.

Onafhankelijke configuratie van vacuümunits
Combinatie van een turbomoleculaire pomp, een Roots-pomp en een schottenpomp, waardoor een stabiele pompcurve wordt gegarandeerd.

Volautomatisch PLC-industrieel besturingssysteem
Procesautomatisering, procesrecepten kunnen met één klik worden opgeslagen en opgeroepen.

Precisiegasstroomregeling
Maakt gebruik van meerdere Mass Flow Controllers (MFC's) om reactieve gassen zoals argon, zuurstof en stikstof nauwkeurig te reguleren, waardoor het geschikt is voor de reactieve sputterdepositie van oxide- en nitridecomposietfilms.

Veiligheidsvergrendeling
Inclusief vergrendelingen voor de kamerdeur en het vacuümsysteem, evenals bescherming tegen overbelasting, watertekort en stroomuitval, automatische uitschakeling bij het detecteren van afwijkingen om de doelbron en het vacuümsysteem te beschermen.

Decoratieve coating
Horlogekasten, badkameraccessoires, golfclubhoofden, handwerk, speelgoed, koplampreflectoren voor auto's en behuizingen en knoppen voor mobiele telefoons of huishoudelijke apparaten. Kan imitatiegoud, staalzwarte, ultra-zwarte en gekleurde decoratieve coatings produceren en dient als een milieu-vriendelijk, vervuiling-vrij alternatief voor traditioneel galvaniseren op water-basis.

Compatibele substraten: ABS-kunststof, glas, keramiek, tegels en diverse metalen.

 

Functionele films
Matrijzen en gereedschappen: slijtvast-bestendige beschermende coatings voor snijgereedschappen en mallen/matrijzen

De filmdikte is controleerbaar en herhaalbaar.

Het kan op betrouwbare wijze een film met een vooraf bepaalde dikte afzetten, en door sputteren kan een uniforme filmdikte op een groot oppervlak worden verkregen.

De film heeft een sterke hechting op het substraat.

Sommige gesputterde atomen met hoge{0}}energie produceren verschillende mate van injectie en vormen een pseudo-diffusielaag op het substraat waar de gesputterde atomen en substraatatomen met elkaar versmelten.

Bereiding van dunne films van speciale materialen.

Gemengde films en samengestelde films kunnen worden vervaardigd door verschillende materialen tegelijkertijd te sputteren. TiN-imitatiegoudfilms kunnen ook worden gesputterd.

De film heeft een hoge zuiverheid en de gesputterde film zal niet worden gemengd met de componenten van het smeltkroesverwarmermateriaal.

Uitgerust met een hulpbron voor ionen op lage- temperatuur, kan het films vormen door het koud te plateren bij kamertemperatuur zonder verwarming, waardoor energie en elektriciteit worden bespaard en de productiecapaciteit wordt verbeterd.