Hoewel er veel soorten ionenbronnen zijn, is hun doel in wezen hetzelfde: online reinigen, de energieverdeling op het geplateerde oppervlak verbeteren en de energie van het reactiegas moduleren. Ionenbronnen kunnen de hechtsterkte tussen de film en het substraat aanzienlijk verbeteren, terwijl ze ook de hardheid en slijtvastheid en corrosieweerstand van de film verbeteren. Voor gereedschapslijtagebestendige lagen, die over het algemeen dikker zijn en geen hoge uniformiteit in filmdikte vereisen, kunnen ionenbronnen met hogere ionenstroom- en energieniveaus, zoals Hall-ionenbronnen of anoliet-ionenbronnen, worden gebruikt.
Anodische ionenbronnen werken volgens een principe dat vergelijkbaar is met Hall-ionenbronnen. Binnen een smalle ringvormige (rechthoekige of cirkelvormige) spleet wordt een sterk magnetisch veld aangelegd, waardoor het werkgas onder invloed van de anode wordt geïoniseerd en naar het werkstuk wordt geleid. Anodische ionenbronnen kunnen zeer groot en lang worden gemaakt, waardoor ze bijzonder geschikt zijn voor het coaten van grote werkstukken, zoals architectonisch glas. Ze bieden ook een relatief grote ionenstroom. Hun ionenstroom is echter diffuser en de verdeling van het energieniveau is te breed. Ze zijn over het algemeen geschikt voor grote werkstukken, glas, schurende oppervlakken en decoratieve onderdelen. De toepassing ervan in geavanceerde optische coatings is echter niet wijdverspreid.
Hoewel er veel soorten ionenbronnen zijn, is hun doel in wezen hetzelfde: online reinigen, de energieverdeling op het geplateerde oppervlak verbeteren en de energie van het reactiegas moduleren. Ionenbronnen kunnen de hechtsterkte tussen de film en het substraat aanzienlijk verbeteren, terwijl ze ook de hardheid en slijtvastheid en corrosieweerstand van de film verbeteren. Voor gereedschapslijtagebestendige lagen, die over het algemeen dikker zijn en geen hoge uniformiteit in filmdikte vereisen, kunnen ionenbronnen met hogere ionenstroom- en energieniveaus, zoals Hall-ionenbronnen of anoliet-ionenbronnen, worden gebruikt.
Anodische ionenbronnen werken volgens een principe dat vergelijkbaar is met Hall-ionenbronnen. Binnen een smalle ringvormige (rechthoekige of cirkelvormige) spleet wordt een sterk magnetisch veld aangelegd, waardoor het werkgas onder invloed van de anode wordt geïoniseerd en naar het werkstuk wordt geleid. Anodische ionenbronnen kunnen zeer groot en lang worden gemaakt, waardoor ze bijzonder geschikt zijn voor het coaten van grote werkstukken, zoals architectonisch glas. Ze bieden ook een relatief grote ionenstroom. Hun ionenstroom is echter diffuser en de verdeling van het energieniveau is te breed. Ze zijn over het algemeen geschikt voor grote werkstukken, glas, schurende oppervlakken en decoratieve onderdelen. De toepassing ervan in geavanceerde optische coatings is echter niet wijdverspreid.
De Hall-ionenbron in avacuüm coatingmachineioniseert het procesgas met behulp van een sterk axiaal magnetisch veld. De sterke onbalans van dit axiale magnetische veld scheidt de gasionen en vormt een ionenbundel. Vanwege de sterkte van het axiale magnetische veld heeft de ionenbundel van de Hall-ionenbron extra elektronen nodig om de ionenstroom te neutraliseren. Een gebruikelijke neutralisatiebron is een wolfraamgloeidraad (kathode).
